本課程為大學部電子類必選課之一，所講述之內容為積體電路中各種電子元件之製造技
術，為微電子相關學門之基本課程。積體電路技術是現今電子業之礎石，且應用於各種光
電元件製程，本課程所涵誘漁e，學生不論將來從事電子或光電相關之研究，本課程所
給之觀念應有所助益。本課程之後可選修「固態電子學」，或選修研究所之「微影術原
理」、「光學」、「積體電路工程」、「光電半導體技術」等相關課程。
內容大綱：
(17 class days):9/21 9/28 10/5 10/12 10/19 10/26 11/2 11/9 11/16 11/23 11/30
12/7 12/14 12/21 12/28 1/4 1/11

※期中考(2hr)：11/9;期末報告1/11;期末考1/18

1.簡介 (Introduction ): 9/21 [1,19]
2. IC製造簡介 (Introduction to IC Fabrication): 9/21, 9/28 [1,19]
3.半導體基礎 (Semiconductor Basics): 10/5 [2,3,5]
4.晶圓製造 (Wafer Manufacturing) 10/12 [4,6]
5.熱製程 (Thermal Processes) 10/19 [10]
6.光學微影術 (Photolithography) 10/26, 11/2 [13,14,15]
7.電漿基礎 (Plasma Basics) 11/9, 11/16 [8]
8.離子佈植(Ion Implantation) 11/23 [17]
9.蝕刻(Etch) 11/30 [16]
10.化學氣相沉積及介電質薄膜(CVD and Dielectric Thin Film)12/7, 12/14 [11]
11.金屬沉積術 (Metallization) 12/21 [12]
12.化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing) 12/28(1hr) [18]
13.製程整合 (Process Integration) 12/28 [9]
14. CMOS製程與構裝(CMOS Processes and Packaging) 1/4 [20]
※括號內的數字代表對應於書目二參考書的內容。